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東莞蜜桃视频APP下载免费下载維修爪式泵的特點

文章出處:公司動態 責任編輯:東莞市蜜桃一区二区在线真空設備有限公司 發表時間:2019-11-05
  
  東莞蜜桃视频APP下载免费下载修理爪式泵是為半導體工業開展而研製的,它有如下一些特點:
  1、與被抽氣體觸摸的表麵防腐蝕耐磨損。
  2、泵腔內無潤滑劑,因而無返油現象發作。
  3、抽氣原件為非觸摸式的可實現高速工作(3000r/min)。
  4、電氣監控與操作,主要有電源,遠距離操作和開關閥等的操控。
  5、齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤滑,上端蓋內的軸承用PFPE油脂潤滑。
  6、在泵腔內氣流垂直運動,少數的顆粒物和液體等在重力效果下易於掃除。
  7、該泵型式多樣,功能能夠擴展,泵的主體,帶有齒輪、馬達以及氣體淨化設備,附件有進口處防反流的閥門,出口處有截流閥,電氣監控及報警裝置。
  8、進口防返流閥能將被抽容器與泵腔間隔,出口處截流閥能將泵的出口封閉起來,將泵通以淨化氣體,這些閥可主動開關,真空體係有可靠的維護,杜絕了向真空室的返流。
  9、第二、三、四級均有淨化氣體進口,以改善被抽介質順利經過泵腔,無此需要的能夠不用通淨化氣體,淨化氣體用三個流量計別離調理,相互都是獨立的,以保證節約惰性氣體,利用三個電磁閥可微調其流量。
  當泵出現毛病時泵能主動泊車,兩個閥門一齊封閉或截流閥封閉。動力和遙控有一台變壓器和整流器,以提供所需的電流電壓,以滿足監控過程的需要。
  動力電源、繼電器用以對馬達的接通與斷開及馬達超負荷的維護。操作過程有顯示器,有按鈕操控,可操控馬達、防返流閥的操控閥和截流閥的操控閥,第二、三、四級的淨化氣體的通斷閥,惰性氣體的主閥,淨化氣體向軸封處通氣用的閥門等。
  毛病的監控報警或泊車,體係安全主動操控,也可按鈕操控。啟動時,打開淨化氣體,泵正常運轉3min,淨化氣體向各段湧入,通淨化氣體對泵性能有些影響。
  每當遇到緊急情況可按主動泊車鍵,淨化氣體繼續接通,封閉進口防返流閥,各級泵淨化1min,淨化完畢,馬達再泊車,封閉惰性氣體截止閥。
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